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大日本网屏开发出支持第8代基板的液晶彩色滤色片直接描画设备和涂布设备




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  大日本网屏开发出了支持第8代玻璃基板(底板尺寸:2160mm×2460mm)的液晶用彩色滤色片生产设备,将于2007年4月上市。此次投产的是滤色片曝光工程中使用的直接描画设备“DF-2200G”以及滤色片材料涂布设备“LF-2200G”。
  每台每年可节约掩膜成本5亿日元
  直接描画设备“DF-2200G”配备有“可变光栅投影方式”。除了任意光栅斑图之外,光栅设备中还预置了数十种图案,不需更换掩膜就可在玻璃底板上曝光多种图案和线条。从而大幅降低了为每个图案单独制作大型掩膜的成本,以及替换与维护等运行成本,解决了这些掩膜曝光以往的课题。这样,支持第8代的曝光设备每台每年可节约掩膜成本5亿日元。
  此外,因为可在短时间内切换多种曝光图案,还能够缩短试制等开发过程所需的时间。DF-2200G的尺寸为8.5m×4.4m×3.6m(不包括激光设备),价格为10亿日元(随规格变动)。
  采用为TFT开发的刮刀式涂布方式
  涂布设备“LF-2200G”采用了已在TFT制造工程中得到应用的刮刀式涂布系统“Linear coater”。能灵活应对滤色片材料特有的多种涂布条件,实现高精度的涂布性能。LF-2200G的尺寸为16m×5m×4.5m,价格为5亿日元(不同规格有变动)。

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