深圳会展中心（福田）
2025年8月26日-28日
正阳成立于2008年，经过10余年的发展，通过了IS09001质量管理体系、14001环境管理体系和职业健康管理体系，是国家高新技术认证和专精特新企业，拥有多项自主知识产权专利，与多所高校建立了长期技术研发合作关系。
公司集产品开发、生产、销售及其提供高要求智能清洗整体解决方案于一体，致力于在（半导体、精密光学、AR、VR）等领域把高端智能清洗装备做专、做实、做精、做透、做特。
正阳是全球第一家研发制造生产出立式旋风、龙蛋型湿法设备的企业，开创性的将TGV显影、剥膜、闪蚀、电镀等清洗工序工艺采用了立式、旋转、双面的同时处理方式进行处理。同时配套自研夹具和自动装卸片装置，实现了显影、剥膜、闪蚀、清洗的全自动智能柔性制造。
综合性腐蚀设备 与激光设备通用篮具和装卸片装置，柔性链接 一站式酸碱蚀刻和超声波清洗。 酸碱工艺室隔离，分区正负压。 自动断电药液回收。 CDS、CDU自动药水供应 根据需求开放设定循环、鼓泡、喷淋、抛动、各段时间、温度
旋风系列湿法设备 亚微米线宽 高均匀度 去离子水减少高达80% 工艺介质减少高达80% 封闭式系统 可柔性多腔室组合 用于：闪蚀刻、剥膜、显像清洗等工艺。
龙蛋行专用电镀设备 TGV水平电镀 高均匀度 去离子水减少高达80% 工艺介质减少高达80% 封闭式系统 可柔性多腔室组合
卧式基板清洗机 采用上片装置上游对接原片、TGV片、镀膜片；可采用堆叠片、装篮片、装箱片；根据出口需求放片；人工或AGV将整箱放置上料处 下游对接激光、镀膜、贴膜工序、直接装篮装箱；采用缓存、机器人、直连等方式连接下游，装篮装箱需由人工或AGV取放篮、箱 选配刷洗、磨洗、揉洗、超声波、二流体、超高压微雾等模块
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