2023展商 | AMHS-天车(OHT)
首页 > 展商 >
2023展商 | AMHS-天车(OHT)
返回
2023展商 | AMHS-天车(OHT)
发布时间: 2023-03-03
浏览次数: 914
OHT(自动搬运设备)

Image

华芯(嘉兴)晶圆载具空中驱动搬送车OHT,采用IPT(Inductive Power Transfer)非接触式供电体系,可实现点对点跨Inter/Intra 传送功能;符合SEMI标准,兼容8/12 inch料盒。

  • 2-dimensional bar code defined position
  • RFID reader in option for inventory check
  • E84 & EAP communication by configurable

项目

SPEC
尺寸
 710mm*460mm*962mm
车重量
 115~125kg
振动
 直线<0.5G  弯轨<0.5G
洁净度
 CLASS 100 
直线速度
 Max. 3.5 m/s
曲线速度
 Max.0.8m/s 
Foup取放速度
<10S
载具荷重
 Max.15kg
爬坡能力
<6度
电力供给
 IPT无线供电
通讯协议
 E84、SECS/GEM Communication

安全规范

 SEMI Compliance
 *提供12寸FAB的标规天车/可依据8寸FAB客户需求做客制化设计